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专利名称: 一种基于功率谱条纹的倾斜误差检测与控制方法
申 请 号: CN202510562198.0
申请日期: 2025.04.30
专利授权日期:
第一发明人: 陈欣扬
全部发明人: 陈欣扬; 郑立新; 丁媛媛; 王超燕
专利类别: 发明